国产光刻机技术的进展一直备受市场关注，特别是在一些关键领域取得突破的背景下。下面我将为你梳理一些相关的龙头上市公司信息。
📈 一、国产光刻机整体进展
近期，国产光刻机领域有一个重要消息：中芯国际（688981.SH）已开始测试由本土公司宇量昇制造的深紫外（DUV）光刻机。这款设备采用浸没式技术，若测试成功，将有助于提升国内在7nm及以上制程芯片领域的生产能力。受此消息影响，2025年9月17日A股光刻机概念板块表现强势，相关指数上涨。
光刻是芯片制造中技术难度最大、成本最高且最耗时的环节，其成本约占芯片制造总成本的30%，耗时占比约40%-50%。目前全球光刻机市场主要由ASML、尼康和佳能主导，其中ASML在2024年占据了全球61.2%的市场份额，并且是极紫外（EUV）光刻机的唯一供应商。
🔍 二、核心概念龙头股一览
以下是市场上关注度较高的部分国产光刻机概念龙头上市公司，仅供参考，不构成任何投资建议。
| 公司名称 (代码) | 核心业务与定位 | 相关概念与近期动态（2025年） | 来源 |
|---|---|---|---|
| 张江高科 (600895) | 是上海微电子（SMEE）的第一大股东，主导光刻机产业链生态整合。SMEE是国内唯一能量产前道光刻机整机的企业，其90nm光刻机已量产，28nm浸没式光刻机在加速研发中。 | 作为SMEE的重要股东，直接受益于SMEE的技术突破和产业发展。 | |
| 奥普光电 (002338) | 背靠中科院长春光机所，直接参与光刻机曝光系统、超精密光栅等核心部件的研发。其EUV光刻物镜定位精度达0.8nm，对标德国蔡司。 | 同时也是“新凯来”技术合作方（合资成立“长光集智”），独家供应光刻机曝光系统核心部件，2024年订单金额超5亿元。 | |
| 茂莱光学 (688502) | 精密光学镜头核心企业，覆盖DUV/EUV光学模组，其DUV光学透镜已进入上海微电子供应链，服务于28nm光刻机物镜系统。 | 为光刻机提供匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜等。2025年拟启动紫外检测系统样机试制。 | |
| 福晶科技 (002222) | 全球非线性光学晶体（LBO、BBO）龙头，市占率超60%，是光刻机激光光源系统的核心材料供应商，产品用于光刻机激光光源系统。 | 产品深度绑定ASML、蔡司等国际巨头。与中科院合作的固体激光驱动技术效率达3.42%，助力国产EUV光源研发。 | |
| 新莱应材 (300260) | 新凯莱核心供应商，提供半导体设备关键零部件，包括超高洁净管路系统、真空阀门等。 | 2024年三季度获新凯来订单8000万元。其纳米级洁净技术适配7nm/5nm产线。产品也应用于上海微电子的光刻机。 | |
| 上海微电子（SMEE） | 国内光刻机领域的领军企业，是国内唯一具备前道光刻机自主研发与量产能力的企业。90nm光刻机已量产，28nm浸没式光刻机已于2023年交付量产。 | 该公司目前未上市。其股东包括上海电气控股集团、国家集成电路产业投资基金等。市场常关注其合作伙伴及潜在借壳上市传闻（但多家公司已澄清，如飞乐音响）。 | |
| 上海电气 (601727) | 上海电气控股集团有限公司是上海微电子（SMEE）的控股股东，持股约32.09%。 | 作为SMEE的控股股东，与SMEE的发展密切相关。 | |
| 海立股份 (600619) | 为上海微电子提供封装光刻机冷却系统配套，技术适配先进制程需求。 | 同受上海电气控股集团控制，与SMEE有业务协同性。 |
💡 三、其他重要概念公司
除了上述龙头公司，以下公司在光刻机产业链的特定环节也扮演着重要角色：
- 波长光电（301421）：是光刻机准分子激光器光学元件主力供应商，也是国产光刻机平行光源系统供应商，支持65nm以下工艺，已进入上海微电子供应链。
- 炬光科技（688167）：全球少数能量产光刻机光场匀化器的企业，产品用于ASML曝光系统的激光束整形。开发的半导体激光退火系统已进入中芯国际供应链。
- 苏大维格（300331）：提供光刻机用的定位光栅产品。
- 南大光电（300346）：光刻胶及前驱体材料研发领先，适配先进制程需求。
- 至纯科技（603690）：国内能覆盖28nm制程的湿法清洗设备商，也是新凯来湿法清洗设备的核心供应商。
💎 四、总结与提示
国产光刻机产业链的发展离不开政策的大力支持和全产业链的协同努力。目前，国内企业在光刻机整机（如上海微电子）、光学系统（如奥普光电、茂莱光学）、光源（如福晶科技）、关键零部件（如新莱应材）以及相关材料（如南大光电）等领域均在积极攻关并取得了一定进展。
需要注意的是，投资涉及风险，尤其是半导体行业技术迭代快、研发投入大。上海微电子作为核心整机企业目前并未上市，市场对其相关传闻需谨慎对待。本文所列信息均基于公开搜索结果整理，仅供参考，不构成任何投资建议。在做出任何投资决策前，请您务必进行独立判断，并充分了解相关风险。
希望以上信息能对您有所帮助。
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